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碳/碳复合材料应用于硅晶体热场系统在湖南取得突破|火狐体育

发布者:欧宝体育注册发布时间:2021-06-19浏览者:17735

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3月12日,由湖南南方搏云新材料有限责任公司和中南大学共同完成的“碳纤维强化碳基体复合材料及硅晶体生长炉热场研制与研发”项火狐体育目在长沙通过了湖南省科技厅的组织的科技成果鉴定。专家指出,该成果根据硅晶体生长炉热场系统零件的功能,顺利设计了低密度、低中密度、密度梯度三类碳/碳复合材料,产品种类齐全。材料的主要性能参数合乎生产硅晶体生长炉热场系统拒绝,增进我国高端半导体生产所需的热场材料跨上了一个新的台阶。

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并且系统地研发了享有自律知识产权的碳纤维强化碳基体材料生产工艺,有效地确保了产品的性能和质量。在国内的硅晶体热场系统中,首次成套地使用碳/碳复合材料,享有硅晶体生长炉热场材料制品、制取工艺和成套设备的核心技术,产品空缺了国内空白,总体技术超过国际先进设备水平。目前,项目分担单位已自律研发了直径超过1520mm的国内仅次于的整体式碳/碳复合材料加热器和碳/碳烧结保温件,具备用于可信、操作者便利、运营经济、节能环保、增加电网污染等一系列优点,需要有效地提升硅晶体生产效率,降低生产能耗。

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项目孵化期年产值已约2330万元,用户体现较好,具备辽阔的市场前景和产业化基础。_火狐体育。

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